半導体システム

現代のIT産業を支える半導体。その製造プロセスにおいては、複雑な工程管理の下で様々なガスや液体が用いられている。その量がわずかでも狂えば、製品の品質に影響を及ぼすことから、数多くの分析装置によって工程毎に厳しい検査が行われている。

そのひとつがガス・液体流量制御装置「マスフローコントーラ」で、HORIBAの半導体関連ビジネスの一翼を担う堀場エステックの製品。世界シェアは30%を超え、半導体製造には欠かせない存在となっている。HORIBAでは分析市場で長年培ってきた固体・ガス・液体の測定技術を活かした各種検査装置を多数ラインアップ。驚異的なスピードで進む技術開発の動向をいち早くつかみながら、グループ各社の連携を密に、グローバルな対応を行っている。

半導体とならんで、今後ますます拡大が予想されるのが液晶をはじめとするFPD(フラットパネルディスプレイ)市場。その製造工程でも厳密な品質管理が不可欠で、HORIBAでは異物検査装置や薄膜測定装置を中心に、各種検査装置をトータルに提供。IT産業の発展に貢献している。