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X線検出器
EMAX x-act
仕様
| ■形式 |
EX-250 x-act |
EX-350 x-act |
EX-350 x-act |
| ■検出器部 |
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| タイプ |
標準 |
プレミアム |
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137 eV |
133 eV |
| ■機能比較 |
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| ◎アナライザ |
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| 自動定性、KLMマーカ |
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| スペクトル比較 |
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| スペクトルオーバーレイ |
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| エレメントキャッチャー |
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| 定量 |
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| スペクトルマッチング |
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スペクトル合成
(チェックトータル) |
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| ◎マッピング |
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| スマートマップ |
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| 線分析 |
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| 定量マップ |
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| 相分析 |
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多相マップ
(カメオプラス) |
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| ◎ポイント＆ID |
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分析エリア自動収集
／スペクトル再構成 |
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| ライン＆グリッド |
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◎広域自動分析
(オートメート)※1 |
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◎広域マッピング
(モンタージュ)※1、2 |
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●* |
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◎自動粒子解析
(フィーチャー)※1 |
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| ◎GSR※1 |
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◎ドリフト補正
(Site Lock) |
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*オプション
※本カタログ記載の商品名及び社名はそれぞれ各社の商標または登録商標です。※Microsoft Wordは製品に含まれていません。
※1：SEM側に別途オートステージ・通信機能が必要です。対応SEMの型式をご確認ください。
※2：広域マッピング(モンタージュ)には広域自動分析(オートメート)が必要です。
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