エネルギー分散型X線分析装置
EMAX ENERGY EX-250/350/450
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●HORIBA独自の技術で組成分布を簡単に解析。
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主成分分析法の採用とクラスタリングで
組成分布の詳しい解析が可能。
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主成分解析による相分析で簡単に同一組成領域(相)が求められます。
さらに各相の定量分析がスマートマップから抽出したスペクトルで簡単に行なえます。
各相を色分けした相分離図、スペクトル、各相の組成一覧を組み合わせて、わかりやすく説得力のある分析結果が得られます。
[主な機能]
●2元素散布図
●主成分散布図
●クラスタリング
●相分析定量
●相分析による分析例
■鉛フリーはんだの分析
同じ元素の組合せでも、場所による比率の違いで、正確に「異なる相」として認識できます。
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[RGB合成]
RGB合成では各元素の分布が鮮明ではありません。
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[相分離]
3つの組成(元素の組み合わせ)の分布状態が明瞭に確認できます。
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※新光電気工業株式会社殿ご提供
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[組成]
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相1
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Ag-Sn
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相2
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Sn
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相3
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Cu-Sn
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■不均一試料の高精度定量分析
はんだのように成分の異なる二種類の組成(相)で形成されている不均一試料の場合、全領域スペクトルから定量分析をしても正しい結果を得ることができません。相分析定量は、組成ごとに定量分析した上で、全領域の平均組成を算出するので、高精度な定量結果を得ることができます。
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[全領域スペクトル]
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[相分離]
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[質量濃度%]
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Sn
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Pb
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相1
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92.64
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7.36
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相2
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6.22
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93.78
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[定量結果の比較]
相分析の方がより正確な定量結果が得られます。
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スズ(Sn)
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鉛(Pb)
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成分比率
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30%
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70%
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全領域スペクトルの定量結果
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41.44%
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58.56%
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相分析定量 全領域平均組成
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29.74%
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70.26%
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■Al/Si合金の分析
分析例2同様に偏析のあるAl/Si合金も相分析定量で化学分析値に近い結果が得られます。
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[相分離]
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[質量濃度%]
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Sn
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Sn
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Sn
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Sn
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相1
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79.90
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18.45
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0.00
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1.65
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相2
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97.54
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1.98
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0.00
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0.48
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相3
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82.43
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3.92
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1.59
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12.06
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相4
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61.87
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35.33
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0.00
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2.80
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全領域
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84.47
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10.93
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0.43
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4.17
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mass%
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Al
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Si
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Fe
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Cu
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化学分析値
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(84.63)
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10.13
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0.55
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4.24
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スペクトル分析
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82.12
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12.68
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0.63
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4.58
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相分析定量
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84.47
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10.93
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0.43
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4.17
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■クリーンルームの排気ダクトから収集した塵の分析
製造環境のクリーン度を上げ、製品の品質を向上させるため、塵の成分を相分析により分析し、発生源をつきとめることができます。
[組成]
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相1
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Al-Ba
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相2
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SiO2
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相3
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Al-Si-Cr
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相4
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Fe-Cr
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相5
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Ni
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