エネルギー分散型X線分析装置
EMAX ENERGY EX-250/350/450
X線分析装置の測定原理について
【X線検出器の構造】
【X線の発生と特性X線】
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電子銃から放出された電子は、試料表面からある深さまで入り込み、各種の電子線やX線を発生します。X線分析装置は、特性X線を用いて、試料の構成元素分析を行うことができます。
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【特性X線と連続X線】
入射電子によって、原子核をまわる電子が原子の外にはじき出されてできる空位により高いエネルギー準位にある電子が移ります。このとき、過剰なエネルギーが元素特有のX線(特性X線)となって発生します。特性X線はスペクトル上ではピークとして表示されます。このほかにも入射電子は原子核の影響を受け軌道を曲げられた時に、エネルギーを失い連続X線を発生します。そのスペクトルはバックグラウンドとして表示されます。
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■電子線励起
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