エネルギー分散型X線分析装置

分析エリア自動収集
思いのままに分析するポイント＆ID
調べたい場所をさまざまに設定可能。
電子顕微鏡から取り込んだ画像をベースに分析したい範囲を指定し、EMAX ENERGYから電子顕微鏡の電子ビームをコントロールすることで、試料の測定したい場所を次々に分析する機能。点・矩形・多角形・エリア自動選択など、多様な範囲指定方法で分析したい場所を確実に設定できます。

スペクトル再構成
スマートマップによるマップ情報から、
ポイント＆IDで、スペクトル再構成が可能です。
スマートマップは、全領域のデータを取得していますので、ポイント＆IDにより範囲指定を行えば、再測定することなしにスペクトルデータを表示することができます。スマートマップで測定しておけば、すでに手元にない試料でも、特定の範囲で測定したのと同等の分析結果（スペクトル再構成データ）を得られます。

充実したスペクトル解析機能。
測定位置と関連付けながら、多点分析した任意の場所についてスペクトルを解析できます。スペクトルは、3次元表示やタイル表示など用途に合わせたさまざまな表示方法で比較でき、自動定性分析やKLMマーカによる解析、定量分析などの基本的な分析などさらに詳細な分析が実行できます。