微量ガス分析計

半導体プロセスに使用されるバルクガス (N₂、O₂、He、Ar、H₂、Air) 中の微量の不純物を超高感度、高精度 (最小検出感度10ppb) に連続測定する装置です。クロスモデュレーション方式を採用し、ゼロガスと常時比較しながら測定していますので、ゼロドリフトフリーとなり、長期間安定した測定値を得ることができます。19インチラック方式でまとめていますので、システムアップも容易です。半導体ガス製造設備の品質管理に最適です。

1分析計にCO/CO₂/CH₄のうち最大2成分までが搭載可能で、2成分同時にディジタル濃度表示します。

クロスモデュレーション方式を採用し、ゼロドリフトフリーで長期間安定した連続測定値が得られます。

光学調整が不要でメンテナンス性が向上。

流量(圧力)異常、チョッパ(電磁弁)、失火警報(GA-360E)、電源断の自己診断機能を搭載していますので、異常時の対応がすばやくできます。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。

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