有害元素蛍光X線検査装置
XGT-1000シリーズ
関連製品
10μmの世界へ−。XGT-5000シリーズ。 |
〈X線分析顕微鏡〉 |
マッピング機能で複合部品やプリント基板の有害元素分布が一目でわかります。さらに多点分析機能により有害元素の高精度測定が可能です。微小部専用のX線集光導管に切り換えれば10μmの分解能で蛍光X線分析と透過X線分析も可能。異物や欠陥をスピーディーに分析。
XGTだからできる高速・微細測定の秘密。
HORIBA独自のX線集光素子を使った、細くて強度の高いX線ビーム方式を採用。X線コリメータを使った方式に比べ微小部の高速測定が可能です。またX線検出器にはパルスチューブ冷凍機を採用した液体窒素レス検出器を搭載。(5100WR)安全かつ、高精度測定を実現しています。
液体窒素不要で、現場にマッチ。
パルスチューブ冷凍機だからこそできる-200℃の冷凍温度。
これにより、液体窒素を使わずしてX線での高精度測定を実現。
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液体窒素レス専用設計により液体窒素タイプと同性能を実現
※本装置は液体窒素が不要 |
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高感度分析(エネルギー、強度) |
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高い信頼性
(HORIBA SEM-EDX用液体窒素レス検出器でも高い実績 稼動実績100台) |
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省エネルギー
(高純度Si採用で低、常温温度サイクルに耐えられる。※使用時のみ冷却。)
※予約タイマー標準装備 |
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豊富なアクセサリをご用意 |
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大型試料室モデル、超大型試料室モデルがラインナップ。
操作性・性能そのままに、大型試料が対応可能になりました。いままで分析が難しかった大型埋蔵品や工業製品が切断・前処理一切不要で分析できます。WEEE/RoHS、ELV指令への有害元素仕様へも対応可能。
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サンプルサイズ
500mm(W)×350mm(D)×85mm(H) |
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マッピングサイズ
200mm×200mm |
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サンプルサイズ
500mm(W)×500mm(D)×300mm(H) |
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マッピングサイズ
200mm×200mm |
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