有害元素蛍光X線検査装置

 

X線照射径

Ø3mm標準
Ø1.2mmまたはØ100μmより選択(オプション)

一次X線フィルタ

Ø3mm照射径:4種自動切替え
Ø1.2mm照射径:5元素同時分析用フィルタまたはフィルタレス
Ø100μm照射径:フィルタレス

二次X線フィルタ

金属中有害元素高感度測定用に標準装備
(ON/OFF自動切替え)

X線検出器

液体窒素冷却3L

パルスチューブ
液体窒素レス

高純度Si検出器

試料形状

最大460×360×149mm