X線分析顕微鏡

微細10μm
従来よりX線集光効率の高い10μmX線導管を新たに開発することで、10μmX線ビームの強度UPを達成。従来比最大50倍の高速測定を実現し、実用性を飛躍的に高めました。

簡単正確位置決め
CCDでの観察像は、X線ビームと同軸の機構を採用。凹凸のある試料でも分析位置がずれず、観察作業と分析結果を完全に融合。操作性と、正確なデータを統合しました。

ミクロからマクロまで
測定可能な試料部位は最小Ø10μmから、最大□10cmまで。幅広いサイズに対応します。広範囲を概観したいマクロ分析から、ミクロの特定部検査にまでフレキシブルに対応します。

大気中での即時分析
分析プローブ内を真空にする構造を採用し、軽元素の感度を高めました。その結果、試料は大気中で測定可能となり、試料室の真空引きの待ち時間が不要、試料の乾燥処理などの前処理も不要になりました。

蛍光X線元素分析
蛍光X線による元素分析を高速に実行。試料の定性・定量分析はもちろん、多点分析・線分析・面分析も簡単に行え、相分析による材質解析も可能です。

垂直透過分析
透過X線像が取得可能ですので、電子部品などの内部観察や構造解析が簡単に行えます。拡散のない、微細な垂直ビームによる走査ですので、たとえば円筒形状の部品でも、鮮明な透過像が得られます。

内部/異物分析
X線照射なので試料内部までもぐり込み、透過像に加え、内部の元素情報を得ることができます。

含水試料分析
独自の真空プローブにより、前処理不要・大気中分析が可能ですので、水分を含む植物や、動物生体なども測定可能。試料ダメージもなく、医学・生物の分野でもお使いいただけます。