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関連製品 |
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X線分析顕微鏡
XGT-5000シリーズ
分析プローブ概念図
●10μmの高精度元素分析。
●測定時間を大幅に短縮(最大50倍)。
●全体観察から10μm分析までわずか3クリック。
■測定方法
HORIBA独自の技術から生まれたX線集光導管(XGT)で、10μmの強力なX線ビームを試料に照射。この分析プローブは真空とし、試料は大気中での分析を可能にしています。XY走査ステージ上の試料はX線と同軸のCCDカメラ像で観察でき、試料を走査しながら試料からの蛍光X線・透過X線を、計測することで画像を形成します。 |
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(※特許第2900086号)
※光学観察像から蛍光X線分析の測定点を指定し、この一点に一次X線を照射する機能は堀場製作所の特許です。 |
■各種分析装置との比較。
XGT-5000は、各種測定装置のメリットを併せ持っています。
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XGT |
SEM/EDX |
X線透視装置 |
光学像による位置決め |
○ |
△電顕像(白黒) |
× |
最大分析領域 |
○10cm×10cm |
△1〜2mm |
− |
最小分析領域 |
△Ø10μm |
○Ø0.数μm |
− |
測定可能元素 |
△11Na〜92U |
○4Be〜92U |
− |
試料前処理 |
○なし |
△導電性処理 |
○なし |
試料ダメージ |
○なし |
△あり |
○なし |
試料汚染 |
○なし |
△あり |
○なし |
大気中測定 |
○可能 |
×真空中 |
○可能 |
取得画像/元素マップ |
○ |
○ |
× |
/透過X線像 |
○ |
× |
○ |
/光学像 |
○ |
× |
× |
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