測定原理

エネルギー分散型蛍光X線分析法

測定元素

Na〜U(試料大気中にて)

検出下限

Cd, Pb, Hg, Br≦2 ppm, Cr≦5 ppm
@1.2 mmφ(PEサンプルにて)

試料形状

100×100 mm/350×400×40 mm

試料

プラスチック、金属、紙、塗料やインクなどの液体

試料室雰囲気

大気

XGT素子

空間分解能

10 μm+1.2 mm または100 μm+1.2 mm

X線管

50 kV/1 mA、 Rhターゲット

一次X線フィルタ

5元素同時分析用(Cd/Pb/Cr/Hg/Br)
Cl用/P用/フィルタレス(オプション)
最大4種自動切換え(オプション)

蛍光X線検出器

パルスチューブLNレス検出器(5100WR)、
窒素冷却タイプ 3L(5000WR)いずれも高純度Si検出器

透過X線検出器

NaI(Tl)シンチレータ

ステージ

200×200 mm(オプション)、100×100 mm(最大マッピングエリア)

試料室

400×350×40 mm(別途特注対応可)

光学像

100×100 mm(標準40万画素、オプション200万画素)

倍率100倍で観察(同軸)

分析機能

定性

自動定性機能、BG表示、ROI色分け、マッチング機能

定量

FPM定量、金属FPM定量、検量線定量(Cd/Pb/Cr/Hg/Br)
(Cl補正、厚み補正、金属対応、ケーブル補正)
サムピーク補正、ケーブル補正改良

測定シーケンス

1ボタンで条件設定→測定→定量分析(XGT-1000WR機能移植)

多層膜

多層膜FPM(オプション)

データ管理

Excelデータ管理ソフト、グリーン調達支援ソフト、
検査報告書出力(オプション)