CS-100F1シリーズ [詳しい情報]

実現！インライン・マルチモニタリング。マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

PR-PD3 [詳しい情報]

小型設計で低ランニングコスト、しかも広い汎用性。

FG-100 Series [詳しい情報]

ガス分析用途をさらに広げるコンパクトサイズ。シングルセルとデュアルセルタイプをご用意。

世界最小クラスの残留ガス分析計。四重極(Quadrupole)の原理を応用した質量分析計。

メタルダイヤフラム構造を採用し、静電容量の変化により圧力を正確に計測。

プロセスガスやバブリングガスの精密流量制御。本体内部にCPUを搭載した高性能デジタルマスフローコントローラ。

UVISEL [詳しい情報]

位相変調方式を採用し、高精度測定を実現。

LabRAM HR-800 [詳しい情報]

小型、軽量、卓上設置可能な顕微鏡一体型ラマン分光測定装置。

UT-300 [詳しい情報]

1nmの超薄膜から複合多層膜まで幅広い膜厚測定を全自動で実現。

低濃度領域を安定して測定可能。HFだけでなくHCI濃度測定も可能。

OZ-96i [詳しい情報]

In-Situで溶存オゾン濃度測定可能。測定レンジのバリエーションが豊富。