HORIBA : SEMICON Japan 2006　(セミコンジャパン 2006)

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■HORIBA Advanced Techno製品

Particle Detection　(異物計測)

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Reticle/Mask Particle Detection System
レティクル/マスク異物検査装置

PR-PD2

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Reticle/Mask Particle Detection System
レティクル/マスク異物検査装置

PR-PD3

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FPD Mask Particle Detection System
FPD用マスク異物検査装置

PR-PD4

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Reticle/Mask Particle Detection System
レティクル/マスク異物検査装置
(卓上型/組込型)

PR-PD5

Trace Gas Measurement
(微量ガス計測)

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Trace Ammonia Gas Monitor
微量アンモニアガスモニタ

CG-1000

■	SO₂・NOx Gas Monitor SO₂・NOxガスモニタ
	AP-370 Series

Fluid Control　(流体制御)

Gas Control　(ガス制御)

■	Mass Flow Module マスフローモジュール
	D200/D200W

■	Pressure Insensitive Mass Flow Controller プレッシャーインセンシティブマスフローコントローラ
	SEC-Z700

■	Multi Range Multi Gas Digital Mass Flow Controller マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
	SEC-Z500X

■	Ratio Controller レイショコントローラ
	FS

■	DeviceNet™ Auto Pressure Regulator デバイスネット対応オートプレッシャレギュレータ
	UR-Z700

Liquid Control　(液体制御)

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Digital Liquid Mass Flow Meter/Controller
液体微少マスフローメータ/コントローラ

LF-F/LV-F

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Mixed Injection
ミックスドインジェクション

MV-1000/MI-1000

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Direct Injection
ダイレクトインジェクション

VC-1000

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Compact Baking System
コンパクトベーキングシステム

LSC-A100

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Liquid Source Auto Recharge System
オートリチャージシステム

LU-A1100

Vacuum Control　(圧力制御)

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Residual Gas Analyzer
残留ガス分析計

RGA/MICROPOLE™ System

Inspection & Measurement　(計測検査)

Film Thickness Measurement
(膜厚計測)

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Full Automatic Ultra Thin Film Analyzer
全自動超薄膜計測システム

UT-300

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UV-Visible Ellipsometer
紫外可視エリプソメータ

MM-16

Stress Measurement
(応力測定)

■	Full Automatic Raman Analyzer 全自動ラマン分光測定装置
	FR-3000

■	Thumb-size Scanning Electron Microscope 親指サイズ電子顕微鏡 (参考出品)

Material Analysis
(不純物、欠陥測定)

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Photoluminescence Measurement System
フォトルミネッセンス測定装置

LabRAM HR-PL

APC　(アドバンスドプロセスコントロール)

End-point monitor
(エンドポイント)

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Real Time Interferometric Film Thickness Monitor
干渉式リアルタイム膜厚モニタ

LEM-CT670

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Plasma Diagnosis Endpoint Monitor
プラズマ発光分析エンドポイントモニタ(装置組込型)

DigiCPM_J

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Plasma Diagnosis Endpoint Monitor
プラズマ発光分析エンドポイントモニタ(高分解能測定用)

PlasmaScope

Gas Monitoring
(ガスモニタリング)

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FTIR Gas Analyzer
FTIRガス分析計

FG-100A

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In-line Gas Monitor
インラインガスモニタ

IR-150

■	SiF4 Monitor SiF4ガスモニタ
	IR-200/SiF4

Front & Back Ends　(フロント&バックエンド)

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Fiber Type Chemical Solution Concentration Monitor
ファイバータイプ薬液濃度モニタ

CS-100F1

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Chemical Solution Concentration Monitor
高速応答薬液濃度モニタ

CS-100/100F1 Series

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Hydrofluoric Acid monitor
フッ酸モニタ (参考出品)

CM-200A/210A Series

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Chemical Solution Concentration Monitor
薬液濃度モニタ

CS-100

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Low-concentration
HF/HCI/NH3 Monitor
低濃度HF/HCI/NH3モニタ

HF-960M

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Dissolved Ozone Monitor
溶存オゾンモニタ

HZ-960

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Carbon Sensor Resistivity Meter
カーボンセンサ比抵抗計

HE-960RW-GC

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Conductivity Meter (High density type)
SLIM48導電率計(高濃度タイプ)

HE-480H

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Conductivity Meter (Low density type)
SLIM48導電率計(低濃度タイプ)

HE-480C

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Low Concentration HF Monitor
低濃度HFモニタ

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TMAH Conductivity Meter
TMAH測定導電率計

HE-960TM

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IPA Gas Monitor
インラインIPAガスモニタ

IR-150AS/IPA

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IPA Vaporization System
IPA気化システム

MV/LE

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High-sensitivity Silica Monitor
高感度シリカモニタ

SLIA-300

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Dissolved Oxygen Monitor
溶存酸素モニタ

SD-300

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In-line Particle Sensor
インラインパーティクルセンサ

PLCA-801

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