HORIBA : SEMICON Japan 2007　(セミコンジャパン 2007)

出展社セミナー
■日時：2007年12月5日(水)
■会場：ホール3、ルーム1

11：30～12：20

■WETプロセスにおける薬液濃度モニタリング動向
［希釈SPM中低濃度HFモニタ］

12：30～13：20

■光散乱異物検査装置の高解像度化
［PR-PD2 HRの紹介］

SEMIスタンダード関連プログラム
ひずみSiデバイス実用化に向けた測定標準の確立
－JEITA標準歪測定ワーキンググループ成果報告－
■日時：2007年12月7日(金)　10:00-17:10
■会場：幕張メッセ国際会議場
■参加費用：無料(別途希望者のみテキストを現地有料販売)

14：30～15：50

ラマン分光による測定
［ひずみ換算係数の検討と高空間分解能化への挑戦］
■300mm対応ラマン分光装置(FR-3000)

16：30～17：10

■総論［各測定結果の比較検討］

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