新しい機種になるほど、ボディは薄く、小さくなるのに、機能はどんどん増えていく。クリアな音声、メール、音楽、デジカメ機能に動画、さらには電子マネーやリモコン代わり等々。今や日常生活に欠かせなくなった携帯電話は、まさにIT社会の象徴。その製造には極限の精度を見極める分析機器の存在がある。

携帯電話に欠かせない液晶パネルの製造工程において、ガラス基板上の各種薄膜や多層膜の膜厚や光学定数を、高速かつ高精度に測定。低温ポリシリコンやアモルファスシリコン液晶に加え、次世代の有機ELディスプレイにも対応。

電子機器に含まれる有害物質の規制に関する欧州指令「RoHS」への対応は、産業界の大きな課題。規制物質のうち5元素をわずか30秒で測定可能で、電子装置の材料・素材管理に大きく貢献する。

機能が増えているのに、電話機の大きさがさらに小さくなっているのは基板の高集積化が進んでいるため。微細エレクトロニクスの極限を追求する現場では、超薄膜の厚みを正確に測定する装置が必要。ホリバ・ジョバンイボン社の分光エリプソメータ技術とHORIBAの製造技術の融合の成果。

携帯電話の長時間利用を可能にしたリチウムイオン電池の開発には、素材分析における粉体・粒体の「状態解析」が不可欠。ナノレベルでの幅広い元素分析で活躍する。

半導体や液晶パネルの製造工程で使用されるガスの中には、PFCガスなど地球環境に悪影響を及ぼすものも含まれている。これらの物質の徹底した管理を支援する。

半導体の製造には、何種類もの液体・気体が使用される。その流量と濃度を適切に調整するのがマスフローコントローラ。

わずかな微粒子の付着さえ許されないのが半導体製造の世界。洗浄工程で使用される薬液中の異物検査に利用される。