微量アンモニアガスモニタ

CG-1000

レティクル/マスクパターン上
最小0.35μmの微細異物を検出する多機能・高機能タイプ
レティクル/マスク異物検査装置

PR-PD2

●パターン上にて0.35μmの異物検出感度
●各種ステッパーケースに対応（多段ケース対応）
●フォークサイズ可変で最大3種類のレティクルに対応
光　　源：アルゴンレーザ488nm、10mW
検出能力：パターン面 0.35μm
　　　　　ガラス面 5.0μm
　　　　　ペリクル面 10.0μm

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