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微量アンモニアガスモニタ
CG-1000
イオンクロマトグラフィーとの比較データ
現在、クリーンルーム内のアンモニアガス分析法としては、インピンジャーで捕集し、イオンクロマトグラフィー法(IC法)による分析法が広く利用されています。HORIBAは、このIC法と、CG-1000との比較を、アンモニアの標準ガスボンベを利用し実施しました。図1に、CG-1000とIC法との比較データを示します。実験フローは、図2に示す通りで、インピンジャーの吸収液には、希硫酸(0.5mM)を用いています。このデータにより、10ppb以下の低濃度域においても、良い相関性が得られていることが分かります。
リアルタイム測定データ
クリーンルーム内雰囲気ガスを、CG-1000にて測定したデータです。装置周辺の人の影響により、アンモニア濃度が変動している様子が分かります。
アンモニアフィルタ 破過テスト
数100ppbのアンモニアガスをフィルタへ導入し、フィルタ出口でCG-1000により、モニタリングしています。本データより、アンモニア濃度が上昇することにより、フィルタ破過のタイミングを知ることが可能です。
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