微量アンモニアガスモニタ

“生成異物”
“HAZE”対策の1stステップ！
微細化の進む半導体製造プロセスでは、ますます厳しい工程管理が求められています。
特に最近の露光工程(リソグラフィープロセス)では、プロセス雰囲気の厳密な管理が求められ、Haze問題(マスク表面の生成異物や露光装置内レンズ表面の曇り問題)の原因のひとつとされている微量アンモニアガスの管理が必要となってきています。
そのため、従来の測定手法では測定困難な極低濃度でのアンモニアガスのリアルタイムモニタリングが求められています。
HORIBAは新しい計測技術CRDS法を採用したモデルCG-1000でプロセスでのご要望にお応えします。

微量アンモニアガスをCRDS法で超高感度・リアルタイム測定

超高感度 0.1ppb
コンパクト設計ながら、数ｋｍにも及ぶ長い有効光路長が得られる事から、検出下限0.1ppbを実現しました。

リアルタイム測定
5秒毎の濃度出力が可能で、アンモニアガスのリアルタイム測定を実現しました。

簡単操作
サンプル配管の接続と電源オンだけで、測定スタート。簡単操作を実現しました。

低ランニングコスト
キャリアガスやカラム交換などのユーティリティーが不要なため、ランニングコストが少なくて済みます。

長期安定性
光の減衰時間を測定しているため、レーザ強度の変動影響やミラー表面の汚れの影響を受けにくく、また、可動部が無いため、長期安定性に優れています。

CRDS法 (CRDS： Cavity Ring Down Spectroscopy) CRDS法(キャビティーリングダウン吸収分光法)とは、レーザ光を高反射率の反射鏡を用いた光学キャビティの中に閉じこめ、そのキャビティから漏れてくる光の減衰時間を観測することで、キャビティ内の試料の吸収量を測定します。 CRDS法は、有効光路長が数kmと長く取れることで超高感度の測定ができること以外にも、光の減衰時間を測定しているため、レーザ強度の変動影響を受けないという特長もあります。この為、操作が簡単で、取扱にも優れています。

露光工程エリアの雰囲気モニタリング
各種製造装置内の雰囲気モニタリング
ケミカルフィルターの破過モニタリング

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。

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