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測定対象
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クリーンルーム内大気中の微量アンモニアガスの測定
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測定原理
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CRDS方式(Cavity Ring Down Spectroscopy方式)
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測定レンジ
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0−500ppb
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ゼロノイズ
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0.06ppb以下(5分平均モードで24時間測定時のσ)
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検出下限
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0.1ppb以下(30分平均モードで24時間測定時の3σ)
0.2ppb以下(5分平均モードで24時間測定時の3σ)
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最小測定間隔
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約5sec
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ゼロドリフト
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±0.1ppb／day(50分平均データのピーク値)
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ゼロ復帰時間
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60分以下
(約10ppbのサンプルガスを測定後、5分平均モードで0.2ppbに到達するまでの時間)
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継手
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外径6mm、6.35mm共用、フッ素樹脂継手
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出力
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アナログ出力(濃度値)
アラーム出力(エラー、Hレベル、HHレベル)
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架台寸法
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600(W)×835(D)×840(H)mm(モニター、取っ手含まず)
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質量
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110kg
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ユーティリティ
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電源：AC100V±10V 50／60Hz
消費電力：700VA(MAX)
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試料ガス条件
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流量：0.4〜10L／min
温度：15〜35℃
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