光ファイバ式薬液濃度モニタ
CS-100F1シリーズ
エッチング工程・洗浄工程
概要
エッチング工程および洗浄工程における各種薬液濃度を高精度モニタリング
半導体製造におけるエッチング工程および洗浄工程で使用される各種薬液の高精度な濃度モニタリングを見つめた、HORIBAの薬液濃度モニタCS-100F1シリーズ。
光ファイバで光信号を伝播することで、試料セルを洗浄装置内配管に直接組み込み、インライン・リアルタイム測定を実現。
同時に、1台の濃度モニタで最大4種(薬液またはレンジ)の測定を可能とし、ワンバス・枚葉方式洗浄装置での1ライン複数薬液のマルチモニタリングも実現しました。
また、フィードバック濃度コントロールが必要な精度重視の測定に対応して、セルユニットタイプもご用意しています。
特長
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1台の濃度モニタで最大4種(薬液またはレンジ)まで測定できるマルチモニタリング。
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リアルタイムの濃度追従を実現するインライン測定。精度重視のセルユニットタイプもご用意。
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約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート。
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電気部と測定部の完全分離により安全性が向上。
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洗浄装置の省スペース化に貢献する軽量コンパクト設計。
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洗浄工程でのロット不良減少により歩留まり向上。
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価格
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