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1台の濃度モニタで最大4種(薬液またはレンジ)まで測定できるマルチモニタリング。
1台のモニタに、最大4種(薬液またはレンジ)の校正係数を記憶させることにより、ワンバスや枚葉方式の洗浄装置のように、1ロットで複数薬液(または、異なる薬液比率)の濃度モニタが可能です。 |
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約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート。
約3秒と短い測定周期で高速応答性を実現。マルチバスはもちろん、ワンバス・枚葉方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。 |
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リアルタイムの濃度追従を実現するインライン測定。精度重視のセルユニットタイプもご用意。
洗浄装置のメイン配管に直接組み込むことができるインラインセルの使用により、リアルタイムの濃度追従を可能としました。また、安定性を重視したセルユニットタイプもラインナップし、モニタ出力を用いたフィードバック制御にも対応。薬液濃度値の許容範囲を保つとともに、無駄な薬液交換をなくすこともできます。 |
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洗浄装置の省スペース化に貢献する軽量コンパクト設計。
床面積で当社従来比約2/3のコンパクト設計により、洗浄装置の省スペース化に貢献。洗浄装置への組み込みが容易にできるほか、軽量なので洗浄装置の上に設置することも可能です。 |
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洗浄工程でのロット不良減少により歩留まり向上。
モニタ出力を用いて各成分薬液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩留まり向上に貢献します。 |
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電気部と測定部の完全分離により安全性が向上。
光ファイバを光源信号の伝導に使用することで、濃度モニタとセルの完全分離設置を実現。濃度モニタを薬液雰囲気外に設置できるので、腐食などの心配がありません。 |
