CS-131は、半導体製造における洗浄工程のSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に使われるSC-1溶液(NH₃/H₂O₂/H₂O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広範囲なサンプル温度範囲に対応しました。

約2秒という測定周期(※)で300mmプロセスの濃度管理をサポート
約2秒という短い測定周期(※)で高速応答性を実現。マルチバスはもちろん、ワンバス方式の洗浄装置のきめ細やかな濃度管理をサポートします。(※薬液の置換時間、冷却時間は含みません)

コンパクト設計により洗浄装置の省スペース化に貢献
床面積従来比約2/3(※)のコンパクト化設計により洗浄装置の省スペース化に貢献。容易に洗浄装置へ組み込めます。
(※当社製品CS-220シリーズとの比較)

洗浄工程でのロット不良減少により歩留まり向上
モニタ出力を用いてSC-1溶液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩留まり向上に貢献します。

フルオート測定で、簡単管理を実現
ユーザはSC-1溶液を導入するだけ。測定はフルオートなので、測定開始後の制御は一切不要です。また、参照スペクトル測定は空気を使用するため、ユーティリティとしての水は不要です。

万全の気泡対策により高温サンプルも測定可能
脱泡槽にて気泡を分離し、測定中はさらに電磁弁によりフローセル内に気泡が混入するのを最少限に抑制。また冷却器一体型なら高温度のサンプルも直接モニタに流すことができます。温度補正はもちろん自動で行います。

DC24Vを採用し、高い安全性を実現
電源は、低電圧DC24Vを採用し、感電に対する安全性を一段と向上させました。また漏水センサ内蔵により漏水発生時にSC-1溶液供給遮断などの緊急対応を可能にしています。

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