CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH₄F/HF/H₂O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF 溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

・約3秒という測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート
約3秒という短い測定周期を実現。リアルタイムな濃度追随性を大幅に向上しました。マルチバスはもちろん、ワンバス方式の洗浄装置のきめ細やかな濃度管理をサポートします。

・コンパクト設計により洗浄装置の省スペース化に貢献
床面積従来比約2/3(*)のコンパクト化設計により洗浄装置の省スペース化に貢献。容易に洗浄装置へ組み込めます。
*当社製品CS-327との比較

・洗浄工程でのロット不良減少により歩溜まり向上
モニタ出力を用いてBHF溶液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩溜まり向上に貢献します。

・フルオート測定で、簡単管理を実現
ユーザはBHF溶液を導入するだけ。測定はフルオートなので、測定開始後の制御は一切不要です。また、参照スペクトル測定は空気を使用し水濃度も測定可能なため、薬液の蒸発やウエハからの持ち出しによる水濃度値追従もでき、酸化膜エッチングのきめ細やかなコントロールが可能となります。

・万全の気泡対策により、連続測定が可能
脱泡機能を内蔵し、フローセル直前で気泡を分離するため、液を流した状態での連続測定が可能になりました。

・DC24Vを採用し、高い安全性を実現
電源は、低電圧DC24Vを採用し、約45Wと感電に対する安全性と省電力を一段と向上させました。また漏水センサ内蔵により漏水発生時にBHF溶液供給遮断などの緊急対応を可能にしています。

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