測定対象

FPM(フッ酸/過酸化水素水溶液)

測定原理

吸収分光法

濃度算出原理

温度補償形多変量解析法

測定範囲

フッ酸　　：0.00〜9.99wt%
過酸化水素：0.00〜9.99wt%
水　　　　：80.0〜100.0wt%

再現精度
(室温変化±1℃以内)

フッ酸　　：±0.3wt%
過酸化水素：±0.3wt%
水　　　　：±2.0wt%

測定周期

約60秒

薬液条件

温度：20〜80℃(導入部)
圧力：0.05〜0.15MPa
流量：20〜80mL/min

設置温度

20〜25℃

操作パネル

1)濃度測定値表示：硫酸、過酸化水素、水
2)アラーム表示：硫酸、過酸化水素の濃度下下限、濃度下限濃度上限、濃度上上限
3)アラーム値の設定：硫酸、過酸化水素の濃度下下限、濃度下限濃度上限、濃度上上限

シリアル入出力

RS-232C
1)濃度データ、アラームメッセージの転送：フッ酸、過酸化水素
2)アラーム値の設定：フッ酸、過酸化水素の濃度下下限、濃度下限濃度上限、濃度上上限
3)時計合わせ

パラレル入力

DC12〜30V(フォトカプラ絶縁)
1)パラレル濃度警報(有効/無効)

パラレル出力

オープンコレクタ出力ON時最大電流：5mA
OFF時最大電圧：30V（フォトカプラ絶縁）
1)アラーム出力：フッ酸、過酸化水素の濃度下下限、濃度下限濃度上限、濃度上上限
2)装置異常

アナログ出力

4〜20mA(硫酸、過酸化水素濃度)

電源

AC100〜240V±10%、50/60Hz、200VA

外形寸法

分析部本体：360(W)×300(H)×430(D)mm
電源ボックス：240(W)×120(H)×251(D)mm

重量

分析部本体：約20kg
電源ボックス：約3kg

適用配管

導入用：外径3mm内径2mm,
排出用：外径6mm内径4mm

必要な設備

エアー弁駆動用計装エアー：0.3〜0.6MPa
パージ用乾燥エアー：約0.01MPa

測定セル

材質：サファイア