DigiCPM_J
装置組込型
MULTI CPM対応。
複数のDigiCPM_Jを一台のホストコンピュータで集中コントロールでき、大規模なラインで有効です。
•装置共通のWindows 2000ベースの高度なソフトウェア
一度、分光測定データを修得してしまえば、何度でも新しいレシピ条件を当てはめて、分析・エンドポイントシュミレーションが可能です。
•フルリプロセッシング
分光データを経時変化グラフに変換、画面構成、色、演算波形、比較波形など画面上に自在に表現でき、エンドポイントシュミレーションを容易にします。ワンクリックでレシピを呼び出し、標準レシピにPOP-UPリストの拡張メソッドを追加していくだけで、より高度な分析・シュミレーション画面を作り上げていくことができます。
•高度な統計処理、レシピへのフィードバック
統計処理エディタは、ロギングデーターを多方面から解析でき、異常解析・歩留まり向上に役立ちます。しかも解析結果を測定にフィードバックできます。
•強力なエンドポイントアルゴリズム
自由な波長間演算波形とHighPass、LowPass、BandPassフィルターでノイズを取り除き、重し処理設定できる微分信号波形により、的確にエンドポイントを決定します。ウィンドウ汚れの影響を取り除くオートスケールコントロール機能を装備しています。
微弱信号波形リプロセッシング例
低開口面積(<0.2%)のエッチングモニタを行う。周波数フィルターで元信号よりノイズ処理後、(上昇(A+B+C)/減少(D+E+F)カーブ)のRatio(黒線)の微分信号(桃線)で的確にエンドポイント検出しています。
•経時変化パターンを探し出す画期的なソフト、Auto Pattern Finder付属
膨大なスペクトルデータの中から変化パターンを見つけ出し、検索できます。エンドポイントの波長決定に強力な武器となります。
•解析結果と自動連動したエンドポイントレシピ作成
オプションソフトウェア"Recipe Designer"を利用することにより、簡易な手順に従い解析、シュミレーションを行うだけで、最適なパラメータが自動生成され、ワンクリックで実プロセスレシピに組み込むことができます。微弱かつ複雑な発光種のエンドポイント、またはプロセス条件が変わってエンドポイントが取れなくなってしまった時など、レシピ作成の負担を大幅に軽減します。
•自動メーリング機能DiMail搭載
プロセス異常を検知し、自動で状況をメールします。ロット毎に統計処理データを自動でメールします。歩留まり向上、およびプロセスのトータルコントロールが可能です。
4台のCPM_Jを組み込んだMULTI CPMラック例
