全自動薄膜計測システム(膜厚計)

●CIM Manager
CIM Manager画面でカセットのlot ID一覧を表示。測定したいlotの設定も簡単です。

●Sensor Manager
センサマネージャ画面で、測定条件、測定位置及び測定結果など測定情報をひと目で確認できます。

●DATA point
各測定ポイントをクリックすると、各測定点の詳細情報を確認できます。

●POINT view
測定パネル画面に表示される測定ポイントをクリックすることで、測定結果の確認が可能です。

●Measurement Data Trend
測定結果をトレンドグラフに表示可能。平均値、最大値、最小値、さらに標準偏差も自動計算します。