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全自動薄膜計測システム(膜厚計) / FF-1000
FF-1000
最先端の計測ニーズに対応
イージー・オペレーションと機能性
仕様
PEM素子を用いた位相変調方式
操作画面/測定結果
その他の膜厚計
全自動薄膜計測システム(液晶用分光エリプソメータ・膜厚計)
FF-1000
その他の膜厚計(薄膜計測製品)
半導体ライン用
全自動超薄膜計測システム
UT-300
UVISELのヘッドを搭載した全自動タイプの分光エリプソメータ(膜厚計)です。10オングストロームの超薄膜やフラッシュメモリ用の多層膜の膜厚、光学定数の管理に最適です。1機種で、12、8、6インチウエハに対応可能で、工場内LAN対応等、数々の特徴を有しています。
半導体/FPD研究開発用
分光エリプソメータ(膜厚計)
UVISEL
測定精度に優れたPEM(Photo Elastic Modulator)を用いた位相変調方式を採用したR&D用分光エリプソメータ(膜厚計)です。240〜830nm(オプション193nm〜1.7μm)迄の測定波長の選択が可能です。
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