HOME
>>
製品＆サポート
>>
FTIRガス分析計 / FG-100Aシリーズ
FG-100Aシリーズ
仕様
コントロールユニット
専用サンプリングユニット
用途例
フロー図
測定例
外形寸法図
ワールドワイドなアフターフォロー体制
関連製品
FTIRガス分析計
FG-100Aシリーズ
用途例
幅広い用途に活用可能。
CVDプロセス(チャンバクリーニングなど)や、ドライエッチングプロセスの最適化に
PFC処理(回収、分解)装置の研究開発に
除害装置の性能確認用に
ガス生産工程における品質管理に
代替PFCガスの開発に
クリーンルーム内の雰囲気ガスモニタリングに
MOCVD用液体・固体材料ガスの濃度モニタリングに
CVD材料の熱分解特性の評価に
シングルセルタイプ
デュアルセルタイプ
TOP
Copyright © 2008 HORIBA, Ltd. All rights reserved. この文書に記載されている情報は通知なく変更されることがあります。ウェブサイトで更新を確認してください。このページは次の場所からコピーされました。
