FTIRガス分析計

分析用途をさらに広げるコンパクトサイズ。
FG-100Aシリーズは、地球温暖化防止のため削減が求められる温室効果ガス、PFCsをはじめ、各種半導体・FPDプロセスガスなどの多様な分析を可能にしたFTIRガス分析計です。

現場での効率的なガス計測を追求して、大幅なコンパクト化を実現するとともにシングルセルタイプとデュアルセルタイプの2種類をご用意。測定ポイントへの設置・移動が容易な上、分析用途も多彩です。

半導体・FPDプロセスガス分析に最適なソフトウェア、豊富なライブラリ、そして移動可能なサンプリングユニットを含め、トータルシステムとしてご提案します。

50年にわたるHORIBAの環境関連ガス分析の技術とノウハウが、半導体・FPDプロセスのガスモニタリングをサポートします。

■0.6秒間隔でのデータサンプリングが可能。
測定の際、「速度優先モード」を選択すると、1秒以下の周期にて、データサンプリングが可能です。
短時間で終了するレシピや、条件変更時の排ガス挙動を詳細に確認する場合に有効です。

■圧倒的な使いやすさを誇るコンパクト設計。
業界最小のコンパクトサイズを実現。現場での設置・移動が容易で、分析用途をさらに広げます。

■シングルセルとデュアルセルの2タイプ。
シングルセルタイプとデュアルセルタイプの2種類をご用意。デュアルセルタイプは、除害装置のIN／OUTの2点など測定濃度が大幅に異なる測定点での連続測定がワンタッチ切換えで可能。セルの交換が不要で、効率的なガス分析を行なうことができます。

■測定対象のガス濃度に合わせて5種類のセル長をラインアップ。
セル長は5種類(0.01、0.1、0.8、2.4、10m)をラインアップ。簡単なセルユニットの交換で、測定対象ガス濃度に応じたセル長による高精度測定を可能にしました。また、プロセスチャンバ直後の減圧下でのガス計測に対応するセルもご用意しています。

■連続測定に最適な液体窒素レス検出器。
液体窒素不要の電子冷却式MCT検出器を採用。クリーンルーム内での煩雑な液体窒素補給が不要となり、スムーズな連続測定を実現します。

■充実したライブラリ。
ライブラリとして、半導体・FPDプロセスに対応した38種以上のスペクトルと検量線を標準装備。さらに、260種以上のスペクトルをラインアップし、効率的なガス分析をサポートします。

■サブppmオーダの高感度測定。
長光路セルの採用により、サブppmオーダの低濃度ガス測定が可能です。

■ユーザフレンドリーなソフトウエア。
リアルタイム分析に最適な、濃度トレンド表示機能、スペクトルの自動保存機能、濃度ログファイルの自動保存機能など、様々な機能を標準搭載しています。また、検量線作成手順は、ナビゲーション機能によりサポートされ、初めての方でも多変量解析による検量線作成が可能です。操作は、Windows仕様のノートパソコンで行えます。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。

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