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FTIRガス分析計 / FG-100Aシリーズ
FG-100Aシリーズ
仕様
コントロールユニット
専用サンプリングユニット
用途例
フロー図
測定例
外形寸法図
ワールドワイドなアフターフォロー体制
関連製品
FTIRガス分析計
FG-100Aシリーズ
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インラインガスモニタ
IR-150シリーズ
インラインガスモニタIR-150シリーズはNDIR法(非分散型赤外吸収法)を用いた半導体ガス濃度モニタです。
化合物半導体製造プロセスで使用される液体材料 TMAI、TMIn、TMGa、DEZnなどの固体や液体材料から気化させたガス濃度のインラインでの濃度管理に最適です。
インライン方式／リアルタイムに濃度測定が可能
MOCVD用液体・固体材料ガスの濃度管理に最適
コンパクト設計／マウントフリー設計
(株)堀場エステック製
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