FTIRガス分析計

半導体・FPDプロセスに最適な専用サンプリングユニットをご用意。サンプルガスの導入が簡単に行なえます。FG-100Aシリーズとのシステムアップ用に、設置・移動が容易なキャスター付の省スペース設計になっています。