FTIRガス分析計
FG-100Aシリーズ
測定例
■Pb(C11H19O2)2 原料ボトル交換前後のガススペクトル
■Pb(C11H19O2)2 原料ボトル交換前後のガス濃度モニタリング
■CVDチャンバクリーニング排ガス分析
CVDチャンバの排気ライン(減圧下)にてサンプリング。ガス濃度モニタにより、チャンバクリーニングのエンドポイントの判定に利用できます。クリーニング条件の最適化により、スループットの向上やガス使用量の削減等の効果が得られます。
■ドライエッチング排ガス測定(C2F6)
■除害装置(プラズマ式)排ガス測定
|
