IPAガス濃度モニタ
IR-150AS
概要
IPA(イソプロピルアルコール)は、半導体製造のウェット洗浄プロセスにおける乾燥工程で広く利用されています。近年、半導体製造プロセスでは、ウエハサイズの大口径化や微細加工の進歩に伴い、各種洗浄装置やCMP装置などのIPA乾燥プロセスにおけるIPAガス濃度の管理が、生産性向上のため特に重要視されてきています。
HORIBAは、SC-1、SC-2をはじめとする各種の薬液濃度モニタや、マスフローコントローラをはじめとするガス及び液体材料の供給システムなどで培ったウェット洗浄プロセスの経験をベースに、HORIBAのガス分析技術を用いて、IPAガス濃度モニタを新開発。このIPAガス濃度モニタのラインアップにより、HORIBAはウェット洗浄プロセスにおける濃度管理のトータルソリューションサプライヤーとして、お客様のご要望にお応えします。
特長
・インライン方式によりリアルタイム測定が可能。
・コンパクト・省スペース設計。
・各種洗浄装置のIPA乾燥プロセスの濃度管理に最適。
設置例
IPAガス濃度モニタは、マスフローコントローラや、気化器と組合せることができ、 特に、気化器の二次側や、バブラーの二次側における、濃度管理に最適です。
価格
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