IPAガス濃度モニタ

HF/HNO₃モニタ/CS-153N

TMAH/H₂O₂モニタ/CS-139E

HF/EGモニタ/CS-138

洗浄工程に用いられる様々な薬液種(混合液)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。短い測定周期の実現により、濃度変化に対しても忠実に追従します。光ファイバを用いたインライン型薬液濃度計(CS-100F1シリーズ)もラインアップしています。

小型、軽量なフッ酸モニタです。フッ酸の希釈装置、ウエハ洗浄装置への組込みに最適です。センサには流通形と浸漬形をラインアップしました。