カソードルミネッセンス測定システム MP Series

レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD2

レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD3

超純水用インラインパーティクルセンサ PLCA-800

シリカモニタ SLIA-300

シリカ分析装置 SLIA-2000

ポータブルDOモニタ SD-300

比抵抗計 OE-96R / 960CE

エネルギー分散型X線分析装置 EMAX ENERGY

X線分析顕微鏡 XGT-5000

マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置 JY-5000RF

光ファイバ式薬液濃度モニタ CS-100F1シリーズ

SC-1モニタ CS-131

SC-2モニタ CS-152

SPMモニタ CS-150

BHFモニタ CS-137

HF/HNO₃モニタ CS-153N

FPMモニタ CS-153

TMAH/H₂O₂モニタ CS-139E

フッ酸モニタ CM-200/210

薬液用インラインパーティクルセンサ PLCA-800

低濃度フッ酸濃度モニタ HF-96

インライン型オゾンモニタ OZ-96i

溶存オゾンモニタ OZ-96

耐フッ酸用pH計 CP-480

スラリー用pH計 OP-96F

スラリーモ二タ DE-100

2チャンネル比抵抗計 GC-96RW

カーボンセンサ比抵抗計 GC-96R

IPA比抵抗計 IP-960

2チャンネル導電率計 OE-96CW

カーボンセンサ導電率計 CE-480C-GC

TMAH測定導電率計 CEH-480TM

アンモニア濃度計 ON-96

液体微少マスフローメータ/コントローラ LF / LV Series

カルマン渦式液体流量計 LK Series

薬液流量コントローラ Model 6500

FTIRガス分析計 FG-100 series

デジタルマスフローコントローラ SEC-Z/F/V Series

インラインガス濃度計 IR-150

デバイスネット対応マスフローコントローラ SEC-Z10D Series

オートプレッシャレギュレータ UR-7340/7350 Series

コンパクトベーキングシステム LSC-A100 Series

液体材料気化供給システム VC Series

オートリチャージシステム LU-A100 Series

マスフローコントローラ SEC-4001 / 8000 Series

残留ガス分析計 MICROPOLE™ System

キャパシタンスマノメータ VG Series

干渉式リアルタイム膜厚モニタ LEM-CT-670-G50/G120

干渉式リアルタイム膜厚モニタ DIGILEM-CPM-Xe/Halogen

プラズマ発光分析エンドポイントモニタ DigiCPM_J

プラズマエッチング集中管理システム MULTISEM 550

全自動超薄膜計測システム UT-300

分光エリプソメータ UVISEL

赤外分光エリプソメータ ex-situ IREL

スラリー粒度分布測定装置 LA-920

動的散乱式粒度分布測定装置 LB-550

薬液コントローラ/メータ Model 4400/6500

フッ素イオン測定装置 FLIA-101