FEOL & BEOL CHEMICAL MONITORING IN WET PROCESS

※1

1台の濃度モニタで最大4種(薬液またはレンジ)の測定可能な光ファイバ式薬液濃度モニタも準備しています。
仕様に関しては、別途お問い合わせください。

※2

薬液種に関しては別途お問い合わせください。