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半導体システム
薬液用インラインパーティクルセンサ PLCA-800シリーズ
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PLCA-800シリーズ
仕様
サンプリングユニット
外形寸法図
関連製品

薬液用インラインパーティクルセンサ
PLCA-800シリーズ

外形寸法図 (単位：mm)

センサモジュール
PLCA-800Q/801Q/801S
ユーティリティモジュール
PLCA-850
センサモジュール PLCA-800Q/801Q/801S ユーティリティモジュール PLCA-850


サンプリングユニット
SPL-810

SPL-811
サンプリングユニット SPL-810 サンプリングユニット SPL-811


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