半導体製造ラインや液晶製造ラインに使われる超純水中の微粒子の個数をカウントし、リアルタイムで検出結果をモニタ表示するインラインパーティクルセンサPLCA-800シリーズ。コンパクトなセンサタイプながら、最小可測粒径0.1μmを実現。試料の微妙な変化に瞬時に対応する応答性も優れています。しかも、最大10カ所のセンサを一元管理でき、マルチポイント測定に最適です。測定データはコンピュータに収集・保存され、簡単に編集することも可能です。日々要求レベルが厳しくなる超純水製造ライン。PLCA-800シリーズはユースポイントにおける多点測定に最適なパーティクルセンサです。

プロセス機への組み込みが可能。

最小可測粒径0.1μm、0.2μm。2タイプを用意

インライン測定により、試料の微妙な変化に瞬時に対応。

ラインの稼働状況・測定結果を画面表示し、データの収集から編集も簡単に

ユーティリティモジュールへのセンサ接続には、
最長50mのRS485を2ポートご用意

■システム構成

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