ポータブルDOモニタ
SD-300
ウエハ洗浄に用いられる超純水中のDO濃度を高精度に測定・モニタします。ワイドレンジで高感度な測定を実現。持ち運びに便利なポータブルサイズで、現場測定に最適です。

シリカモニタ
SLIA-2000
超純水に溶出するシリカ濃度を測定することにより、イオン交換樹脂の性能劣化をいち早く検出できます。