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レティクル/マスク異物検査装置 / PR-PD2
PR-PD2
仕様
外形寸法図
使用環境・用途・特長
測定原理
測定データ例
ユーティリティ(設置構成例)
サンプル測定
技術資料
関連製品
レティクル/マスク異物検査装置
PR-PD2
外形寸法図
単位：mm
Note: Maximum width for installation is approx. 1400 mm.
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