レティクル/マスク異物検査装置
PR-PD2
0.35μmの高感度。
概要
高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。
高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。
各種のステッパーケースに対応する最大10段までの多段ソータや各種通信機能も充実。もちろんPDシリーズならではの広い汎用性でレティクル/マスク上の異物検出はもちろん、ガラス/ペリクル各面を高スループットで測定し、あらゆる半導体製造ラインの歩留まり向上に威力を発揮します。
特長
パターン上にて0.35μmの異物検出感度と90%の検出率を誇ります。(積算モード使用により感度は93%となります。)
レティクル/マスク上の異物検出はもちろん、パターン/ガラス/ペリクル各面を高スループットで測定します。
上下面異物観察機能付き(観察倍率多段切換)です。
各種ステッパーケースに対応可能で、オプションで最大10段までの多段ケースも用意しています。
多彩な検査条件設定機能により操作も簡単です。
データ管理機能を内蔵し、必要に応じた形式でのレポート出力が可能です。
価格
価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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