測定原理 |
偏光レーザー散乱方式 |
測定対象 |
レティクル/マスク上異物 |
検出器 |
光電子増倍管 |
光源 |
アルゴンレーザー488nm、10mW |
レティクル/
マスクサイズ |
5"×5"、6"×6"、厚み2.3〜6.3mm(最大1/4")
(オプション ： 3"×5"、7"×7"、Ø7-1/4ホルダー付、230mm) |
ペリクル |
gライン、lライン、Deep UVに対応可能
厚み：0.865〜2.85μm(±0.2μm)
フレームの高さ：
ガラス面(上面)：2.5〜4.0mm
パターン面(下面)：2.5〜6.3mm
フレームサイズ：レティクルケースによって異なります。 |
検出異物サイズ
(※標準粒子換算) |
パターン面：0.35μm以上
ガラス面：5μm以上
ペリクル面：10μm以上 |
検出能力 |
標準モード：0.35μmの異物を90%以上検出
5回績算検査モード：0.35μmの異物を93%以上検出 |
異物ランク設定 |
パターン面：0.25〜10(3段階)
ガラス面：1.5〜30.0(3段階)
ペリクル面：4〜99(3段階) |
検査時間 |
約6分(ロード開始から2面検査のマップ表示まで)
約1分(アンロード開始から終了まで)
(範囲：100mm×100mm/高スループットモード) |
検査範囲 |
形状：正方形、長方形、丸
範囲：
5"×5"：10×10〜105×110mm、
Ø10〜Ø105mm
6"×6"：10×10〜127×139mm、
Ø10〜Ø127mm
7"×7"：10×10〜160×160mm、
Ø10〜Ø160mm(オプション)
実際の測定範囲はレティクルサポートステージやペリクルサイズによって異なります。(7"と230mmはオプション) |
検査結果 |
LCD表示：
マップ：全検査範囲の結果と異物の位置にX-Y座標を置いたメインマップの拡大結果
検査結果：数万件の検査データを保存可能 |
異物観察 |
観察方法：LCD画面
拡大倍率：220倍、440倍、880倍、2200倍(下面)、440倍固定(上面) |
照明 |
上面：明視野照明
下面：明/暗視野照明 |
標準機能 |
自動検証(スキップ)機能、座標原点設定、傾き補正機能、検査中心設定機能、マップ画面挿入/削除機能、バーコードリーダー(ハードウェアオプション) |
オプション機能 |
ペリクル専用検査、マスクブランク検査、特殊基板サイズ検査、2方向データ通信(GEM又はSECS2) |
外形寸法 |
1710(W)×1540(H)×1400(D)※mm
※警報ランプ、ダクトを含む最大幅 |
質量 |
約1000kg |
