装置重量 |
約1000Kg |
装置外寸 |
W1710xD1350xH1540mm
(運転表示灯含む：H2055mm) |
電源容量 |
AC200/220/230/240±10V 4 KVA 50/60Hz
(電源電圧はご指定ください) |
真空源 |
80Kpa(600mmHg)以上
約50L/min. |
排気条件 |
合計5.4m3/min.
(排気口x3：各1.8m3/min. 熱排気用) |
床振動 |
0.03G RMS/0.2mmEQp-p以下(参考値)
(周波数：8.6Hz、振幅200μm) |
設置場所 |
クラス10 相当のクリーンベンチ又はクリーンルーム内
(温度20〜25℃にて設定温度±1℃に設定) |
メンテスペース |
装置の外側600mm以上 |
