高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。
高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2HRです。
各種のステッパーケースに対応する最大10段までの多段ソータや各種通信機能も充実。もちろんPDシリーズならではの広い汎用性でレティクル/マスク上の異物検出はもちろん、ガラス/ペリクル各面を高スループットで測定し、あらゆる半導体製造ラインの歩留まり向上に威力を発揮します。
