レティクル/マスク異物検査装置

S/N比の向上により先端マスクプロセスに対応
レティクル/マスク異物検査装置
●0.35μm感度
●多段ケース対応
●複数サイズ対応

0.35μmの高感度高スループットで効率的な異物検査・測定を実現
レティクル/マスク異物検査装置
●0.35μm感度
●多段ケース対応
●複数サイズ対応

小型設計で低ランニングコストしかも広い汎用性
レティクル/マスク異物検査装置
●0.5μm感度
●1段/1サイズ
●低設置面積

小型・汎用性を高めたローコスト検査機
レティクル/マスク異物検査装置(卓上型/組込型)
●レティクル反転機構　
●0.5ー50μm選択可能
●検査系1系統　
●装置内蔵/組合せ型

第7.5世代ラインで使用されるマスクサイズまで検査可能
FPDマスク異物検査装置 ●0.5/0.8μm感度
●マスク縦置き

異物除去

ブローと真空吸引で異物を除去
自動異物ブローシステム
●パターン側ペリクル面とガラス面の異物除去
●N₂ブロー及び真空吸引を使用。

生成異物・HAZE対策

生成異物、HAZE対策の1stステップ
微量アンモニアガスモニタ
●超高感度 0.1ppb
●リアルタイム測定(5秒毎)
●簡単操作