レティクル/マスク異物検査装置

本装置ではレーザー散乱光方式を異物の検出原理としています。レーザー光は異物に照射されると散乱されますが、その散乱強度を測定することにより異物を検出します。ガルバノミラーにより検査面全体にわたってレーザー光を走査し、散乱光の強度を測定します。さらに異物とパターンとでは信号に差があることに着目し、独自に開発したローパスフィルタにより弁別効率をアップ。また安定稼働のため、アルゴンレーザ(488nm)を採用しています。

ペリクル透過率測定機能により、適正な感度での異物検査が可能です。光路を切り換えることで、ペリクル枠の内側に影の部分を作らずに測定できます。