レティクル/マスク異物検査装置

測定対象

レティクル/マスク上異物検査

測定原理

レーザー散乱方式

測定時間

約7分/2面(5インチレティクルにて測定開始からデータ表示まで)
※ガラス/ペリクル専用高スループット機(約4分/2面)も検討

感度

パターン面 0.5μm、ガラス面 5.0μm、ペリクル面 10.0μm(※PSL相当)

各種レチクルケース対応(種類とレティクルサイズ御注文時指定願います)

HORIBA標準ケース(5、6、7インチ用)および各種メーカ製ステッパ-ケース(5、6インチ用)に対応(いずれか、1サイズ・1種類・1段対応)
※多段ソーター対応は特殊仕様にて別途御相談とさせて頂きます。

データ

モニターマッピング表示

装置サイズ

約W900×D1350×H1590 mm
※上記は想定標準サイズです。ソータ仕様により異なる場合があります。

設置環境

クラス100より清浄なクリーンルーム、又はクリーンベンチ内

温度

23±1℃

電源

AC100V、15A、50/60Hz

真空源

圧力8.0x104Pa以上、流量50L/min