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レティクル／マスク異物検査装置
PR-PD5
小型・汎用性を高めたローコスト検査機
概要
PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。
●レティクル反転機構
●0.5ー50μm選択可能
●検査系1系統
●装置内蔵／組合せ型
特長
優れた機能で効果的な異物検査をサポート
●低ランニングコストを実現。
レーザ光には抜群の経済性を誇るHe-Neレーザを採用するとともに、シンプルなステージ搬送系を採用するなど、維持費・ランニングコストの大幅な低減を実現しました。
●効果的な誤検出対策機能。
粗いパターン用の偏光差動と微細なパターン用のローパス差の両機能を搭載。この二方法の併用により、OPCなど両方の特性を持つパターンの誤検出対策を効果的に行うことができます。
●広い汎用性で多彩な用途。
パターン上0.5μmの異物検出感度により、レティクル/マスク上の異物検出はもちろん、ガラス/ペリクル各面を高スループットで測定します。
■レティクル/マスク製造工程
マスク/レティクルブランク上の異物測定
EBにて描画・洗浄後のパターン/ガラス面の異物測
ペリクル貼付け後のパターン/ガラス/ペリクル各面の異物測定
貼付け前のペリクル単体の異物測定(オプション機能)
■露光工程
レティクル/マスクの受入検査
露光前のレティクル/マスクのルーチン異物測定
レティクル/マスクの定期的な異物測定
●優れた機能で効果的な異物検査をサポート。
■自動座標補正機能を搭載。
3つの透過光電センサを使用してレティクル端面を検出し、フォーク上でのレティクルの位置ずれを自動補正。常にレティクル中心(0,0)、レティクル端面に沿った座標系で結果を表示します。
■多機能先端ソフトを採用。
パターンマスキング機能、異物マーキング機能、データベース管理機能を持つHORIBA独自の多機能ソフトを採用しています。
■データ管理機能により、多彩なレポートの出力が可能。
価格
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