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レティクル/マスク異物検査装置
PR-PD5
測定原理
本装置ではレーザ散乱光方式を異物の検出原理としています。レーザ光は異物に照射されると散乱されますが、その散乱強度を測定することにより異物を検出します。ガルバノミラーにより検査面全体にわたってレーザ光を走査し、散乱光の強度を測定します。レーザ光はレティクルやマスク上のパターンによっても散乱されますが、異物とパターンとでは散乱光の偏光特性が異なることから、光学系に偏光素子を挿入して両者を弁別します。さらに、異物とパターンとでは信号に差があることに着目し、独自に開発したローパスフィルタにより弁別効率を向上。また、安定稼動のため、実績のあるHe-Neレーザ(633nm)を採用。これらの技術改良により、先端マスクから汎用マスクまで幅広い対応が可能となりました。
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