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レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD5
PR-PD5
仕様
測定原理
関連製品
レティクル/マスク異物検査装置
PR-PD5
仕様
測定対象
レティクル/マスク上異物検査
測定原理
レーザー散乱方式
感度
パターン面 0.5μm、ガラス面 5.0μm、ペリクル面 10.0μm(※PSL相当)
データ
モニターマッピング表示
ユーティリティ
設置環境
クラス100より清浄なクリーンルーム、又はクリーンベンチ内
温度
23±1℃
電源
AC100V、10A、50/60Hz
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